超纯水作为电子行业的常用术语，是指几乎完全去除水中的导电介质，去除水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。超纯水的电阻率大于18MΩ·cm,挨近18.3MΩ·cm极限值。

    尽管各行业都在运用"超纯水",但其质量、规范各不相同。

    首要，规范不同。

    超纯水可分为国标《电子级水》和美标《电子和半导体超纯水质规范》。

    其次，应用领域不同。

    与一般净水器用于净化生活用水不同，超纯水一般用于科研、工业制作等优质用水领域。

    再者，工艺技能不同。

    前者是通过PP棉、颗粒活性炭、精密压缩活性炭、反渗透（RO）膜/超滤膜、后置活性炭五级滤芯过滤，滤除细菌（0.4-1μm）、病毒（0.4-0.02μm）、重金属离子等有害物质，制得到达生饮规范的饮用水，属于分子级过滤。

    后者是一般工艺难以到达的程度。需要将微滤技能、超滤技能、反渗透技能、EDI技能、离子交换技能中的两种及以上的技能，在各级滤芯、控制元件、增压泵、紫外灯的一起作用下，制备出符合试验要求的超纯水，属于离子级过滤。